Máy phát hiện rò rỉ Helium chân không được chứng nhận CE cho ngành công nghiệp bán dẫn

Máy dò rò rỉ Heli SFJ-16M

Chỉ số hiệu suất






 

Tốc độ rò rỉ có thể phát hiện tối thiểu
(Pa·m³/s)/ chế độ chân không

Chế độ chân không (ULTRA):5.0×10^-13 Pa·m³/s (tốc độ bơm heli >5 l/s)
Chế độ chân không (FINE):1.0×10^-12 Pa·m³/s (tốc độ bơm heli 2.5L/s)

Tốc độ rò rỉ có thể phát hiện tối thiểu
(Pa·m3/s)/ chế độ dò

5.0×10^-8 Pa·m³/s

Thời gian phản hồi(s)

<1

Thời gian khởi động(phút)

≤95s

Phạm vi phát hiện rò rỉ
(Pa·m³/s)

5.0×10^-13~1.0×10^-3 Pa·m³/s

Phạm vi hiển thị tốc độ rò rỉ
(Pa·m³/s)

1.0×10^-13~1.0×10^-3 Pa·m³/s

Áp suất phát hiện rò rỉ tối đa cho phép(Pa)

1500

Chất lượng có thể phát hiện

2,3,4(H2 , He3, He4)

Cấu hình cơ bản










 

Giao diện người-máy

Màn hình cảm ứng LCD màu 5"

Nguồn ion

2 chiếc, oxit yttrium tráng iridium, chuyển đổi tự động

Giao diện vào/ra I/O

Tám đầu vào và tám đầu ra

Giao diện truyền thông

RS232/485,LAN

Giao diện MES

Tiêu chuẩn

Kích thước vật lý của thiết bị
(W)×(D)×(H),mm

592 * 498 * 370mm

Thông số kỹ thuật của cổng phát hiện rò rỉ

DN16 KF/2 chiếc

Nguồn cấp

DC24V

Nhiệt độ hoạt động

0-40ºC

Công suất

240W

Ngôn ngữ hiển thị

Cả tiếng Trung và tiếng Anh

Hiển thị tốc độ rò rỉ

Hình, biểu đồ thanh, biểu đồ đường cong