Máy phát hiện rò rỉ Helium chân không được chứng nhận CE cho ngành công nghiệp bán dẫn

Máy phát hiện rò rỉ helium SFJ-16M

Các chỉ số hiệu suất






 

Tỷ lệ rò rỉ tối thiểu có thể phát hiện
(Pa·m)³/s) / chế độ chân không

Chế độ chân không (ULTRA):5.0×10^{- 13} Bàn tay³/s(tốc độ bơm heli > 5 l/s)
Chế độ chân không (FINE):1.0×10^{- 12} Bàn tay³/s(tốc độ bơm heli 2.5L/s)

Tỷ lệ rò rỉ tối thiểu có thể phát hiện
(Pa·m3/s) / chế độ ngửi

5.0×10^-8Bàn tay³/s

Thời gian phản ứng (s)

< 1

Thời gian khởi động ((min)

≤ 95s

Phạm vi phát hiện rò rỉ
(Pa·m)³/s)

5.0×10^{- 13}~1.0 x 10^-3Bàn tay³/s

Phạm vi hiển thị tỷ lệ rò rỉ
(Pa·m)³/s)

1.0×10^{- 13}~1.0 x 10^-3 Bàn tay³/s

Áp suất phát hiện rò rỉ tối đa ((Pa)

1500

Chất lượng phát hiện được

2,3,4 ((H2, He3, He4)

Cấu hình cơ bản










 

Giao diện người máy

Màn hình cảm ứng LCD màu 5 "

Nguồn ion

2pcs, Iridium phủ oxit yttrium, tự động chuyển đổi

I/O Input/output interface

Tám đầu vào và tám đầu ra

Giao diện truyền thông

RS232/485,LAN

Giao diện MES

Tiêu chuẩn

Kích thước vật lý của thiết bị
(W) ×(D) ×(H),mm

592 * 498 * 370mm

Thông số kỹ thuật của cổng phát hiện rò rỉ

DN16 KF/2 bộ

Cung cấp điện

DC24V

Nhiệt độ hoạt động

0-40oC

Sức mạnh

240W

Ngôn ngữ hiển thị

Cả tiếng Trung và tiếng Anh

Hiển thị tỷ lệ rò rỉ

Hình, biểu đồ thanh, biểu đồ đường cong