Máy đo chân không Pirani thép không gỉ cho máy dò rò rỉ helium

Việc giới thiệu máy đo chân không Pirani

Máy đo chân không Pirani là một cảm biến quan trọng trong hệ thống chân không của máy dò rò rỉ quang phổ khối helium,được sử dụng để đo áp suất trong phạm vi chân không trung bình đến thấp (đặc biệt là trong giai đoạn bơm thô)Các yếu tố cảm biến cốt lõi của nó thường được làm bằng kim loại như tungsten hoặc niken, trong khi toàn bộ nhà chứa được xây dựng bằng thép không gỉ.

Chức năng của máy đo chân không Pirani

Máy đo chân không Pirani đóng vai trò là "điểm tra quy trình" và "bảo vệ hệ thống" trong các máy dò rò rỉ quang phổ khối helium, với các chức năng cụ thể như sau:
Kiểm tra áp suất chân không bơm thô:
Khi máy dò rò rỉ khởi động, máy bơm cơ khí trước tiên phải thoát khỏi hệ thống chân không từ áp suất khí quyển đến áp suất tương đối thấp (thường là trong phạm vi 10 Pa đến 0,1 Pa).Máy đo Pirani theo dõi thay đổi áp suất trong giai đoạn này trong thời gian thực và hiển thị chúng trên giao diện thiết bị.
Cung cấp tín hiệu khóa để mở van chân không cao (Chức năng bảo vệ lõi):
Phòng quang phổ khối lõi của máy dò rò rỉ chỉ có thể hoạt động trong điều kiện chân không cao (thường dưới 0,1 Pa).Nếu van chân không cao (kết nối máy bơm với máy bơm khuếch tán / máy bơm turbomolecular) được mở trước khi áp suất đường trước đủ thấp, nó có thể làm hỏng nghiêm trọng máy bơm chân không cao và gây ô nhiễm toàn bộ hệ thống.
Máy đo Pirani được nối với hệ thống điều khiển của thiết bị.Hệ thống điều khiển sẽ chỉ cho phép van chân không cao để mở và bơm turbomolecular để bắt đầu khi đồng hồ đo Pirani phát hiện ra rằng áp suất đường trước là dưới một ngưỡng an toàn đặt trướcĐây là một biện pháp an toàn quan trọng để bảo vệ máy bơm chân không cao đắt tiền và quang phổ khối lượng.
Trợ giúp trong tình trạng hệ thống và chẩn đoán vị trí rò rỉ:
Bằng cách quan sát tốc độ giảm áp suất trong quá trình bơm và áp suất ổn định cuối cùng đạt được,có thể xác định sơ bộ liệu hệ thống có rò rỉ lớn (áp suất không giảm liên tục) hoặc thoát khí nội bộ đáng kể (áp suất giảm chậm).
Trong quá trình kiểm tra rò rỉ, nếu phun heli không chỉ kích hoạt phản ứng tín hiệu quang phổ khối lượng mà còn gây ra sự gia tăng đáng chú ý trong các bài đọc thước Pirani,nó thường chỉ ra sự hiện diện của một rò rỉ tương đối lớn.